Influence of contact resistance on the performance of high-mobility top-gate organic transistors with short channel lengths

T. Nagase,Ryo Nakamichi,H. Naito,Takashi Kobayashi,Y. Sadamitsu
2016-07-22
Abstract:序論 有機電界効果トランジスタ (OFET) の 回路応用において短チャネル化は重要な課題 である。これまでに我々は塗布プロセスにより 作製したトップゲート OFETにおいて、チャネ ル長 5 mで 1 cmVsの電界効果移動度が達 成できることを報告した[1]。得られた実効移 動度は特に飽和領域においてゲート絶縁膜の 膜厚に強く依存する特性が見られた。 本研究では、この様な短チャネルトップゲー ト OFET における飽和及び線形移動度の違い を接触抵抗が及ぼす影響から議論する。 結果及び考察 図 1(a)に作製したトップゲー ト OFET の素子構造、図 1(b)に L = 5 mの素 子で得られた線形移動度、飽和移動度をゲート 絶縁膜の膜厚 dinsに対して表示したものを示す。 有機半導体には JKOS-06h (日本化薬)を用いた。 図 1(b)より、線形移動度は dinsに殆ど依存し ないが、飽和移動度は dinsの減少に伴い増加す ることが分かる。この様な依存性は図 2(a)に示 す接触抵抗 RC (= RS + RD) を考慮した OFETの 等価回路から解釈することができる。 図 2(a)より線形領域、飽和領域のドレイン電 流 ID,lin、ID,satはそれぞれ以下の様に表せる[2,3]。
Environmental Science,Materials Science
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