Microstructure and Phase Composition of ZrN/SiNx Multilayered Coatings Formed by Reactive Magnetron Deposition

Vladimir V. Uglov,Sergey V. Zlotski,Igor A. Solodukhin,Alexander A. Malashevich
DOI: https://doi.org/10.33581/2520-2243-2019-2-105-111
2019-01-01
Journal of the Belarusian State University Physics
Abstract:О б р а з е ц ц и т и р о в а н и я: Углов ВВ, Злоцкий СВ, Солодухин ИА, Малашевич АА. Микроструктура и фазовый состав многослойных покрытий ZrN/SiNx , сформированных методом реактивного магнетронного осаждения. Журнал Белорусского государственного университета. Физика. 2019;2:105 –111. https://doi.org/10.33581/2520-2243-2019-2-105-111 F o r c i t a t i o n: Uglov VV, Zlotski SV, Solodukhin IA, Malashevich AA. Microstructure and phase composition of ZrN/SiNx multilayered coatings formed by reactive magnetron deposition. Journal of the Belarusian State University. Physics. 2019;2:105 –111. Russian. https://doi.org/10.33581/2520-2243-2019-2-105-111
What problem does this paper attempt to address?