微弧氧化制备BaTiO 3 介电薄膜的电解液体系优化

王敏,郭会勇,李文放,张果戈
2014-01-01
Abstract:用正交试验法对BaTiO3薄膜微弧氧化电解液体系进行优化,并对最优电解液体系下所得薄膜的物相组成,元素分布情况、表面形貌及介电性能进行了表征。结果表明,最优电解液体系为0.5 mol/L Ba(OH)2+0.1 g纳米TiO2+0.05 g乙二醇+0.2 g甘油;最优电解液体系下所得薄膜主要由四方相BaTiO3和极少量BaCO3组成,且薄膜表面平整、孔洞分布均匀、孔径细小,其在100 Hz下的介电常数为245.3。
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