Materials characterization by using field emission scanning electron microscope

闫允杰,唐国翌

DOI: https://doi.org/10.3969/j.issn.1000-6281.2001.04.005

2001-01-01

Abstract:场发射扫描电子显微镜 (FESEM)是一种高分辨扫描电镜 ,在材料分析中得到广泛应用。尤其是良好的低压高空间分辨性能和低压下良好的SE像相互结合使用 ,使SEM应用范围得到扩展