Réalisation De Périphéries Innovantes De TRIAC Par Thermomigration D'aluminium Et Insertion De Silicium Poreux

Bin Lu

2017-01-01

Abstract:Cette these est dediee a l’etude, a la realisation et a la caracterisation de nouvelles peripheries de TRIAC. L’objet de cette recherche est de reduire l’espace occupe par la peripherie en tentant de conserver le meme niveau de performances au blocage. Deux voies d’amelioration ont ete poursuivies : l’une concerne la realisation de caissons d’isolation par thermomigration d’aluminium, l’autre implique l’integration du silicium poreux dans le caisson d’isolation. La thermomigration d’aluminium est une technique attractive permettant de remplacer les techniques de diffusion conventionnelles. Son industrialisation subit cependant quelques verrous technologiques, notamment le retrait des residus alumines et la formation de billes. Deux procedes de gravure ont ete developpes en vue d’enlever selectivement l’ensemble de residus. L’origine des billes a ete analysee a l’aide d’observations experimentales et de modelisations numeriques. En utilisant un motif incluant des trous carres aux intersections, des resultats encourageants ont ete demontres malgre une uniformite thermique encore optimisable. La deuxieme voie d’innovation consiste a profiter des proprietes dielectriques du silicium poreux. Un procede de masquage par fluoropolymere a ete developpe pour la localisation du silicium poreux. Les conditions d’anodisation adequates ont ete determinees. La caracterisation de prototypes a montre des tenues au blocage largement ameliorees par rapport a l’etude precedente. Bien que les tenues en tension necessaires n’aient pas ete atteintes, des courants de fuite inferieures a 10 μA ont ete constates jusqu’a plusieurs centaines de volts.