A Vacuum Sensor of Large Measurement Scale Based on Rubbing-Processed Carbon Nanotube Films

Juan Su,Kebo He,Dengzhu Guo,Yingjie Xing,Gengmin Zhang
2013-01-01
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY
Abstract:A miniature vacuum sensor with the widest vacuum measurement scale from 5×10 to 1×10 Pa by using carbon nanotube (CNT) films as the sensing material is presented. The CNT-films were mechanically rubbed onto quartz-glass substrates, with two electrodes evaporated at the two ends. It is found that the resistance of the CNT-films responses sensitively to the change of vacuum pressure. The mechanism of the sensors relates to the adsorption of water molecules which influences the electron transfer in CNTs and increases the CNT-junction resistivity. Streszczenie: Zaproponowano miniaturowy czujnik prozniowy z szerokim zakresem pomiaru, od 5x10 do 1x10Pa, wykorzystujący, jako materialu czulego, blony z nanorurek weglowych (CNT). Blony przetarte są mechanicznie na podlozach ze szkla kwarcowego, na koncach ktorych napylono dwie elektrody. Stwierdzono, ze opornośc CNT silnie zalezy od ciśnienia prozni. Za mechanizm wrazliwości odpowiada adsorpcja cząsteczek wody, co wplywa na przeplyw elektronow w CNT i powoduje wzrost oporności zlącza CNT. Czujnik prozniowy o szerokim zakresie pomiarow, oparty o przetarte blony z nanorurek weglowych
What problem does this paper attempt to address?