Molekulare Erkennung in Selbstorganisierten Integrierten Schaltkreisen: Kontrollierte Verkleinerung

Yong‐beom Lim,Myongsoo Lee
DOI: https://doi.org/10.1002/ange.200805687
2009-01-01
Angewandte Chemie
Abstract:AbstractIn Kleindruck erhältlich: Die Blockcopolymer‐Lithographie ermöglicht die Verkleinerung von integrierten Schaltkreisen – und das bei verkürzter Herstellungszeit. Eine auf Wasserstoffbrücken basierende Selbstorganisation durch molekulare Erkennung wurde genutzt, um auf der Oberfläche eines Siliciumsubstrats hochgeordnete quadratische Anordnungen von Blockcopolymeren zu erzeugen (siehe Bild).magnified image
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