A Modular Simulation System for Semiconductor Manufacturing Scheduling

Li,Fei Qiao
2012-01-01
PRZEGLĄD ELEKTROTECHNICZNY
Abstract:A modular simulation system (MSS) for the scheduling of semiconductor wafer fabrication facilities (fabs) is discussed. Firstly, the general structure model (GSM) for modeling a semiconductor wafer fab, composed of a configurable definition layer, a physical layer, a process information layer and a scheduling layer, is proposed. Secondly, a data-based dynamic modeling method is given. Thirdly, the architecture of MSS, composed of data layer, module layer and simulation layer, is presented. Finally, a case study is used to demonstrate the effectiveness of MSS. Streszczenie. Zaprezentowano Isystem symulacji modularnej do planowania produkcji w przemyśle polprzewodnikowym. Bazuje sie na warstwach: fizycznej, technologicznej i planowania. Zaproponowano tez model dynamiczny. System sklada sie z trzech warstw: danych, modulu i symulacji. (Modularny system symulacji do planowania w przemyśle polprzewodnikowym).
What problem does this paper attempt to address?