MODELING THE STATE OF TECHNOLOGICAL EQUIPMENT AS PART OF AN INFORMATION AND CONTROL SYSTEM

ШЕВНИНА Ю.С. ШЕВНИНА Ю.С.
DOI: https://doi.org/10.25791/pribor.1.2024.1468
2024-01-28
Abstract:В статье представлен подход к моделированию состояния технологического оборудования, входящего в состав информационно-управляющей системы производственного предприятия. Разработанная модель состояния технологического оборудования позволяет учитывать множество взшмосвязанных внешних и внутренних параметров: техническое состояние оборудования, состояние внешней окружающей среды, человеческий фактор. Для исследования взаимосвязи и нелинейности параметров, влияющих на состояние и поведение технологического оборудования, использована модель нейронной сети с обратным распространением ошибки. Верификация разработанной модели состояния технологического оборудования проведена для вакуумной установки, входящей в состав литографа для микроэлектроники. В качестве входных параметров определены четыре основных фактора, влияющих на эффективность управления вакуумной установкой: приток воздуха в камеру вакуумной установки, степень вакуума, давление в камере установки и мощность откачного насоса. Результаты исследования показывают, что разработанная авторами модель позволяет отражать основные особенности изменения состояния технологического оборудования с учетом множества параметров. Хотя модель может быть улучшена при использовании большего количества данных, описанный подход к моделированию состояния технологического оборудования в составе информационно-управляющей системы производственного предприятия доказал свою состоятельность и эффективность. The article presents an approach to modeling the state of technological equipment that is part of the information and control system of a manufacturing enterprise. The developed model of the state of technological equipment makes it possible to take into account many external and internal parameters: the technical condition of the equipment, the state of the external environment, and the human factor. To study the relationship and nonlinearity parameters affecting the state and behavior of technological equipment, a neural network model with backpropagation of errors was used. The verification of the algorithmic model of the state of technological equipment, carried out for a vacuum installation, is included in the lithograph for microelectronics. Four main factors influencing the efficiency of vacuum installation control were chosen as input parameters: air flow into the vacuum installation chamber, degree of vacuum, pressure in the installation chamber and pump power. The results of the study show that the model developed by the authors allows us to reflect the main features of changes in the state of technological equipment, taking into account the proposed parameters. Although the model can be improved by using more data, the described approach to modeling the state of process equipment as part of the information and control system of a manufacturing enterprise has proven its validity and effectiveness.
What problem does this paper attempt to address?